宮崎県工業技術センター

非接触精密測定機の活用事例紹介

接触式測定では変形する薄物や軟質物、あるいは測定傷を付けたくない物の表面形状を、非接触で測定する三次元表面構造解析顕微鏡の活用事例を紹介します。

この装置は、光の干渉を応用して、試料表面の粗さや形状を三次元的に観察・測定できます。測定作業では、光の干渉縞が見える表面位置を見つけることが一番大事な操作です。しかし、試料表面が光を反射しにくい場合、干渉縞を見つける操作に非常に時間を要します。そこで、厚さの分かった薄板(金蒸着を施した厚さ150μm程度のガラス平板)を干渉基準片とし、それを試料上面に置きます。置いた基準片の干渉縞を見つけることは容易であり、この位置から基準片の厚み分だけレンズ位置を下げることで目的の試料表面に干渉縞を見つけることができます。この方法で作業時間を大幅に改善することができました。

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