電界放出形分析走査電子顕微鏡

メーカー

（株）日立ハイテクノロジーズ

型式

S-4800/EDAX Genesis APEX2

仕様・性能

電子顕微鏡部：二次電子像及び反射電子像観察、二次電子像分解能1.0nm(15kV)、最高倍率80万倍、最大試料サイズφ100mm×29mmH
元素検出部：元素検出範囲Be～Am、マッピング機能搭載、液体窒素レス検出器

用途

金属、セラミックス、プラスチック等の各種材料表面をナノレベルで観察することができ、さらに観察箇所の簡易的な元素分析も可能な装置です。各種製品の品質管理や研究開発等に幅広く御利用いただけます。

担当部

材料開発部