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電子線マイクロアナライザー(EPMA)

電子線マイクロアナライザー(EPMA)

メーカー

株式会社島津製作所

型式

EPMA-8050G

仕様・性能

電子源:ショットキーエミッタ
二次電子像分解能:3nm(加速電圧30kV)分析条件により変動
分析元素範囲:5B~92U
通常試料サイズ:25mmφ×10mm厚以下

用途

細く絞った電子線を試料に照射し、微小領域における試料表面の観察と元素分析を行う装置です。電子部品などの工業製品に付着した極微小の異物や変色部の分析、食品中に混入した小さな金属片等の分析に利用します。

担当部

資源環境部

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