非接触三次元表面構造解析顕微鏡

メーカー

Zygo社

型式

New View5010

仕様・性能

光の干渉を応用して、試料を垂直方向に非接触でスピーディにスキャンし、画像合成することにより、試料表面の形状や粗さ等を三次元的に計測・解析することができます。対物レンズによらず分解能が変わらないのも特徴です。
垂直方向分解能　0.1nm
測定視野　　0.14×0.11mm～7.0×5.3mm（対物レンズによる）
垂直方向測定範囲　　5mmまで

用途

接触式測定では変形する薄物や軟質物、あるいは測定による傷を付けたくない物の表面性状を測定できます。三次元データでの観察から形状の測定、粗さ等の解析評価まで行うことができます。

担当部

機械電子部