宮崎県工業技術センター

蛍光X線分析装置を用いた分析手法

蛍光X線分析装置とは、試料表面にX線を照射したときに発生する蛍光X線から、試料に含まれる元素を分析する装置です(図1)。

原子番号9(フッ素)から原子番号92(ウラン)までの元素を迅速かつ高精度に分析することができます。長所としては、試料調製が容易であること、非破壊分析が可能であることなどが挙げられます。短所としては、直接的に定量分析することができないことが挙げられます。

平面が出ていて、試料ホルダーに入る大きさの試料であれば、そのまま分析することができます。今回は、粉末試料と液体試料の場合の分析例をご紹介いたします。 分析例1~粉末試料の場合~ 図2左上は鉄鉱石の粉末です。鉄鉱石の中にどのような種類の元素が含まれているかを調べます。まず粉末試料を図2左下のようにプレスして平面を出します。次に図2右下のように試料を試料ホルダーに入れ、蛍光X線分析装置にセットして測定を行います。こうすることで、鉄を始め、ケイ素やアルミニウムなどの元素を検出することができます。 分析例2~液体試料の場合~ 図3左上のような液体試料に含まれる元素も簡易的に分析することができます。まず図3左下のように一定量を専用のろ紙に浸み込ませた後、乾燥させます。次に図3右下のようにろ紙を試料ホルダーに入れて測定すると、液体試料に含まれる元素を検出することができます。

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このように、多様な試料に対して元素分析が可能ですので、企業等のみなさまのお役に立てる分析装置だと考えております。また、特別な資格も不要ですので、どなたでもご使用いただけるほか、依頼分析も受け付けております。ご希望の際は、当センターまでご連絡ください。

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